高分辨率光刻机等设备招标文件doc.docVIP

招 标 文 件 招标编号：2010194 项目名称：高分辨率光刻机等 苏州大学实验室与设备管理处 2010年9月7日 因教学、科研需要，实验室与设备管理处就高分辨率光刻机等采购项目进行公开招标。 1、项目名称：高分辨率光刻机等 2、招标编号：2010194 3、招标货物品名、数量及主要技术规格：详见招标文件。 4、招标文件价格：标书费每份人民币500元，售后不退，可投标时交纳。 5、投标截止日期及时间：投标人应在2010年9月16日点前将投标书送达苏州大学设备处。 6、投标地点：江苏苏州市东环路50号凌云楼1012室 7、议标、评标日期及时间： 2010年9月16日点8、与本标书有关的事宜请按下列通讯方式联系： 部门：苏州大学实验室与设备管理处 地址：江苏省苏州市东环路50号 凌云楼1012室 邮编：215021 电话：051267504198 传真：0512联系人：丁悦（dingy@suda.edu.cn） 1招标人组织专家和用户5人以上组成评标小组进行评标并要求投标人述标。 5.2评标小组根据货物的性能、报价、服务、公司信誉等情况进行综合评价。 5.3 招标人口头宣布中标结果并在网上公示一周，公示结束并无异议的，中标单位按投标承诺拟定技术协议或合同，并经最终用户签字后签订技术协议或合同。 5.4对落标的投标人，招标人不作落标解释。 六、合同主要条款 6.1 合同将授予符合招标文件要求且对招标人最为有利的投标人，但招标人没有义务必须接受最低报价的投标。 6.2 交货期 自合同签订之日起在 40 天内完成货物的交货、安装、调试工作。 6.3 交货地点： （1） 国内供应的货物交货地点为：苏州大学实验室与设备管理处指定的地点。 （2） 国外供应的货物指定目的地为：苏州、上海或南京。 6.4 付款方式 （1） 国内供应的货物在用户收到货物并验收合格后15个工作日内一次性付款（特殊情况投标人在述标时必须明确提出可以接受的付款方式）。 （2） 国外供应的货物采用外贸信用证（L/C）方式结算，首付90%，余款凭用户签字的验收报告支付（特殊情况投标人在述标时必须明确提出可以接受的付款方式）。 6.5 安装、调试及验收要求 （1）卖方应在买方的配合下，负责对货物的现场安装、调试及指导和服务。 （2）合同所订货物到达买方指定使用地点后，卖方应在收到买方通知后一周内派遣合格的技术人员前往买方使用地点进行安装调试。 （3）验收测试所需要的材料、设备和测试样品等均由负责提供。 投标人名称： 招标编号： 包号： 序号 货物名称 招标规格 投标规格 响应/偏离 说明 投标人代表签字： 注：投标人应对照用户需求表中的技术规格，逐条核对所提供货物和服务是否作出了实质性的响应，有偏离的必须作出说明，对有具体参数要求的指标，投标人必须提供本次投标货物的具体参数值。 用户需求表 苏州大学仪器招标采购技术性能指标和配置要求 序号 名称 主要性能参数要求 数量 1 高分辨率光刻机 主要性能参数要求如下 曝光模式：双面曝光 基片大小：可以安装4圆片的或是4×4的方片，2圆片的或是2×2的方片，1×1方碎片和0.5×0.5方碎片。 掩模板的大小：可以使用从2×2到 5×5掩模板 基片厚度： 可以实现4 mm厚度的基片曝光 掩模板的厚度：可以实现4.8 mm厚度 基片种类：可以实现玻璃片、石英片和硅片等材质的曝光 光源强度：在100mm直径的光斑大小内，紫外光的强度可以达到35 mwcm-2 （@250 nm），光强的差异小于正负3%。 正面对准精度 ± 1 um 背面对准精度±1um 支持正胶、负胶及Su8胶等的厚胶(超过20微米)光刻，特征尺寸：100um-300um 支持真空、接近式、接触式曝光 支持恒定光强或恒定功率模式 分辨率: 在基于1微米厚的光刻胶厚度上使用真空接触方式可以实现0.8 um的结构 带有找平系统及对准台： 带有对准显微镜带有LCD显示和目镜观察系统 具有纳米压印功能，分辨率优于20纳米。 显微镜： 具有明场/暗场和干涉对比功能， 附带5×, 10×和20×的物镜，具有10倍放大的目镜 附带减震台，无油真空泵等必须附属设备，耗材灯额外5只，显微镜灯5只，1升SU8光刻胶，免费加工5块5×5掩模板。 1 2 匀胶、烘烤和显影光刻系统 匀胶机指标要求： 可以自动定量滴加光刻胶，同时也可以实现手动滴加光刻胶 速度和加