菲涅耳双棱镜载频散斑干涉形变测量系统_朱猛.pdfVIP

第 卷 第 期 ， ３３ 　 ９ 光 学 学 报 Ｖｏｌ．３３ Ｎｏ．９ 　 　 　 年 月 ， ２０１３ ９ Ｓｅｔｅｍｂｅｒ ２０１３ ＡＣＴＡ ＯＰＴＩＣＡ ＳＩＮＩＣＡ ｐ 　 　 　 菲涅耳双棱镜载频散斑干涉形变测量系统 朱 猛 黄战华 李翔宇 李秀明 　 　 　 　 （ ， ） 天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术教育部重点实验室 天津 ３０００７２ ， 摘要 剪切散斑干涉技术在表面形变测量中发挥着重要的作用 用于动态形变测量的空间相移技术使得散斑干涉 　 。 ， 技术更实用化 研究了一种基于菲涅耳双棱镜的空间载频产生方法 该方法与散斑剪切干涉结合可以实时地对变 。 ； 形梯度进行测量 应用菲涅耳双棱镜获得空间载频散斑干涉场并分析了双棱镜产生的剪切量和载频 采用单缝与 ； ， 菲涅耳双棱镜配合可以在一个散斑尺寸内产生空间载频 采用傅里叶分析方法进行了载频的标定 利用正弦拟合 。 相移算法得到被测物的动态形变导数 实验结果证明采用菲涅耳双棱镜可以方便地实现散斑剪切干涉的空间相 ， 。 移测量 适合于动态形变检测 ； ； ； ； 关键词 测量 相干光学 散斑干涉 空间相移 载频 　 中图分类号 文献标识码 ： ／ Ｏ４３６．１ Ａ ｄｏｉ １０．３７８８ＡＯＳ２０１３３３．０９１２００３ 　 　　　 　 　　　 Ｓ ａｔｉａｌＣａｒｒｉｅｒＳ ｅｃｋｌｅＩｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｒ Ｔｅｃｈｎｉ ｕｅＲｅｓｅａｒｃｈ ｐ 　 　 ｐ 　 ｙ ｑ 　 ＢａｓｅｄｏｎＦｒｅｓｎｅｌＢｉＰｒｉｓｍ 　 　 　 － ＺｈｕＭｅｎ Ｈｕａｎ Ｚｈａｎｈｕａ ＬｉＸｉａｎ ｕ ＬｉＸｉｕｍｉｎ 　 　 　 　 　 　 ｇ ｇ ｇｙ ｇ 　 （