不锈钢基板的化学抛光研究.pdfVIP

机械设计与制造 第1期 258 Machinery Design ＆ Manufacture 2013年 1月 不锈钢基板的化学抛光研究 邹微波，魏 昕，杨向东，谢小柱 (广东工业大学 机电工程学院，广东 广州 510006) 摘 要：不锈钢基板是下一代柔性显示器的理想选择，对其表面加工是世界各国显示器厂商争相研究攻克的技术。根据不 锈钢基板的主要化学成分，提出了化学抛光液的配制原则。通过测量不锈钥基板表面相糙度和失重率的变化，研究不同抛光 液组份对抛光效果的影响，分析不同化学组份的作用机理，确定了以磷酸、盐酸、硝酸、亚硝酸钠和添加剂为主要成分的不锈 钢基板化学抛光液。结果表明，在一定的工艺条件下，锈钢基板由抛光液抛光后可取得较好的抛光表面。 关键词：不锈钢基板；化学抛光；表面粗糙度；失重率 中图分类号：TH16；TG175 文献标识码：A 文章编号：1001—3997(2013)O1—0258—03 ResearchonChemicalPolishingMethodforStainlessSteelSubstrate ZOUWei-bo，WEIXin，YANGXiang-dong，XIEXiao—zhu (FacultyofElectromechanicalEngineering，GuangdongUniversityofTechnology，GuangdongGuangzhou510006，China) Abstract：Thestainlesss把efsubstrateistheidealchoiceforthenextgenerationofflexibled lay，sinceitssurfaceprocessingsi thecapturetechnologythattheworddsiplaymanufacturerscompetetostudy．h#veshteprinciplefordeployingchemical polsihingsolution，whcihsisummarizedbasedonthemainchemcialcompositoinsofstainlesssteelsubstrate．Ithasbeen investigatedtheeffectsofdifferentpolsihingsolutiononhtepolished$urface，throughmeasuringtheroughnessofthepolsihed surfaceofstainlesssteelsubstrateandhtechangedrateofweightloss．Theworkingprinciplefromdfiferentchemcial compositionofhtesolutoinhasbeennaalyzedandfinallyfiguresoutthepolsihingsolutionwhcihismainlymadeupof phosphorciacid，hydrochlorciacid，nhrciacdi，sodiumnitriteandadditives．TheresultindciateshtatbetterpolishedsurfaceCna beachievedbyusingpolishingsolutoinwithinacertaintechnoloyg conditoinduringstainlesssteelsubstratepolsihing． KeyW ords：StainlessSteelSubstrate；ChemicalPolishing；SurfaceRoughness；W eightLossRate 1引言 Ra0D12的加工结果。文献固在研究柔性有机薄膜晶体管(OTFI)