本征型光敏聚酰亚胺的制备及性能.pdfVIP

J78 以科学发展观促进科技创新(I、) 作者简介 王文广，研究员，蒙古族，1994年在中国科学院化学研究所获理学博士学位。北京印刷 学院职员，主要从事有机光导体和计算机直接制版版材研究领域，主持了国家自然基金、国家新闻出 10；手机E—mail： 版署等科研项目，在国内外期刊上发表文章30余篇。电话：602611 o wangwenguang@bigc．edu．cn 本征型光敏聚酰亚胺的制备及性能 李仲晓 韩星周 吴 倜 蒲嘉陵 北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室，北京，102600 摘 要 本文采用了本实验室制备的一种新型具有不对称结构的芳香二胺单体，即2，4， 6一三甲基一3一氨基苯基一3’一氨基苯基甲酮，与3，3’一4，4’一二苯甲酮四羧酸二酐(BT— DA)经低温聚合和化学亚胺化合成了一种可溶性光敏聚酰亚胺。采用FTlR、Uv、DSC、TGA 等测试手段对树脂的结构与性能进行了表征和研究。所制备的聚酰亚胺在常规的有机溶剂中 具有比较高的溶解度，而且，在紫外光照射下可以发生交联反应，形成阴图影像。 关键词 可溶聚酰亚胺 光交联 不对称 芳香二胺 光敏聚酰亚胺(PSPI)是近20年来随着微电子工业的发展应运而生并迅速崛起的一类新型功能高 分子材料，具有高耐热性和优异的化学稳定性，高温时仍保持优良的绝缘性和力学性能。以PSPI为基 质配成的光刻胶可直接光刻成型，大大简化了集成电路的制造工艺，极大地推动了微电子工业的迅速发 展。从高科技领域看，这种同时具有耐热与感光双重性能的高分子材料，与通常的感光高分子一起已发 展成为高分子化学、光化学及半导体工艺化学的交叉学科的重要研究课题。本文采用低温溶液缩聚法 合成了一种预亚胺化的可溶性光敏聚酰亚胺，并对其结构和性能进行了研究。 一、实验部分 1．试剂与仪器 四羧酸二酐(BTDA)购自北京化学试剂公司，180℃真空干燥4h；其他试剂为市售，分析纯。采用日本岛 津SHIMADZU NETZSCH DSC200PC差热分析仪、NETZSCH TG209C热重分析仪等进行结构和性能测试。 2．光敏聚酰亚胺的合成 解于5mL的DMAc中，室温搅拌至完全溶解后加入1．045 gBTDA，继续搅拌反应24h，制得黏稠的聚 酰胺酸(P从)溶液。在室温下进行化学亚胺化，加入乙酸酐和吡啶(1：1)作为脱水剂，窒温下搅拌反应 24h，再在60℃下搅拌反应3h。将得到的聚酰亚胺溶液在不断搅拌的条件下缓慢倒入乙醇溶液中，得到 浅黄色的纤维状淀物，反复洗涤干燥后得到浅黄色光敏聚酰亚胺。在25*(2条件下，此种聚酰亚胺的 NMP溶液(浓度为59／L)的特性黏度为0．095L／g。聚合过程如图1所示。 第8分会场 光固化与数字成像技术及其应用 J79 NH2 CH3 0 l， H≮ ∞忸 OjC( 够 1．@ 、 ∥