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提纲 一、概述 二、机械特点 三、电气硬件 TDR85A-ZJS全自动单晶炉技术指标 1、可拉制最大硅棒直径200mm（8’）； 2、极限真空度≤25mT ，空炉真空泄漏率≤45mT/hr 3、籽晶总行程：≥3000mm； 4、籽晶拉速范围：0~480mm/h； 5、籽晶快速提升速度： ≥ 400mm/min； 6、籽晶转速范围：0~48rpm； 7、坩埚的升速范围：0~240mm/h； 8、坩埚的快速提升速度： ≥ 100mm/min； 9、坩埚的旋转速度范围：0~20rpm； 10、坩埚的有效行程：400mm； 11、主变压器容量：200KVA。 全自动单晶炉自动工艺 控制软件 本系统控制软件，中英文界面，拥有完全自主知识产权。系统能按照工艺员写入的工艺文件，进行全自动拉晶。同时工艺文件可以在触摸屏上直接修改，下载立即生效，自动工艺可以单步执行也可以连续自动流程，为操作提供极大的自由。 在温度闭环上增加功率限制，信号故障判断诊断功能，可以排除观察孔污染，信号被干扰，加热电源故障，加热器短路，加热器电阻突变，人工输入失误等错误，可以提高成晶率。 8英寸等径控制 工作站 电源系统 电控柜外观 信号管理 电控柜硬件系统 电气设计示例 电源系统 主控器结构 主控面板 CF卡用于保存sop文件 应急操作区 键盘仓 模拟显示面板 可直观显示炉体超温状态、阀状态、冷却水量和氩气压力情况 按钮面板 操作液压泵和真空泵 电路插板 手动引晶器 引晶软线手柄，可提供两种预设拉速 两种速度在软件界面上可实时修改 故障速查表 机械特色 采用了国内首创、独特的副炉室自动旋转机构，可在副炉室提升到位时的缓慢旋开和快速旋闭，实现取单晶过程的自动化动作，避免了人工操作时单晶体碰撞及断裂的事故； 采用特殊的隔离阀板水冷内循环结构，避免了其他单晶生长炉采用浮动式翻板阀中软管及接头漏水的隐患； 机械特色 籽晶和坩埚提升机构的快慢速提升采用了高精度的双直流伺服电机方案，以保证其控制精度。例如单电机驱动中为保证快速提升的速度，在拉晶时电机转速在100rpm以下工作，而采用了双电机系统慢速电机在拉晶时转速在100rpm－1000rpm之间，分辨率高，控制精度优；籽晶提升与旋转装置，经过严格的静平衡和动平衡测试，可在整个旋转过程中实现无振动平稳的运行； 采用独特的氩气分流环结构，保证在拉晶过程中氩气气流的均匀性 机械－副室 国内首家采用副室自动旋转功能，保证旋转平稳防止单晶晃动。 上端观测孔采用250mm直径口便于副室清洗 机械－提拉头 籽晶提升机构经过静平衡和动平衡测试 带称重传感器 快慢速双电机 外置限位调节 有机玻璃观测 光电编码计行程 机械－真空系统 进口氩气阀控氩气 质量流量控制器控制流量 节流阀调压 气动真空球阀 3个压力表布置 炉压可曲线跟踪控制 静密封为氟橡胶O型密封圈 旋转密封为磁流体密封 机械－炉体 炉体部分（包括炉底板、下炉室、上炉室、炉盖、隔离阀座和副炉室）由进口304L不锈钢制造。各腔体内壁厚度8mm，外壁厚度4mm，均经过振动消除应力、缺陷检查和探伤检验。并且经过0.6MPa水压试验和氦质谱检漏仪检漏。炉膛内部抛光到镜面。 21项机械硬件保护 流量开关——水流停止30秒后关掉加热器 温度开关（55°C共8处）——冷却水超温报警 炉内高/低压力——报警 籽晶提升上、下行程开关——关掉电机 坩埚提升上、下行程开关——关掉电机 炉内超压——机械排出，主真空管路防爆阀 液压系统——当加热器开时不打开炉盖 加热器——当炉体打开时不工作 上炉室液压缸——当炉盖打开（转至旁边碰到限位开关）时才能工作 模拟面板——可提供阀的位置、水流量和氩气的信息 21项机械硬件保护 11、机械压力表——监视器或电源故障时，可提供炉内压力值（如果隔离阀关闭则只能提供上下炉室的压力值） 12、真空泵带充气阀——真空泵或电源故障时，防止倒吸 13、氩气压力开关——氩气供气压力低报警 14、主炉室导向柱——防止碰坏石墨零件，主炉室必须上升到石墨件以上时才能转到一边 15、隔离阀座导向块——防止副炉室落位时走偏 16、隔离阀位置开关——防止控制柜误操作 17、副炉室上限位开关——未触发前不允许旋转机构动作 18、副炉室旋开限位开关——防止副炉室旋转过头 19、副炉室旋闭限位开关——防止副炉室旋转过头，向下定位 20、上炉室下限位开关——未触发前不允许副炉室油缸动作 21、炉盖上限位开关——防止副炉室油 谢谢！ TDR85A-ZJS型全自动单晶炉 抽真空－两次充氩气，抽极限真空 检漏－自动报警 调压－节流阀调节 熔料－自动定埚位，氩气，功率等 稳定－缓慢稳定拉晶埚位，功率，埚转 熔接－液面控温，插入籽晶 引晶－自动控制直径4－6mm，拉速目标控制 放肩