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光栅测量装置是数控机床常用的一种位移传感器,属于直接测量装置。采用光栅测量装置构成的全闭环位置控制系统可以补偿传动链上的误差。 图5-2所示为光栅测量装置的外观图。 图5-2 光栅测量装置 一、透射光栅的组成及工作原理 透射光栅采用光线垂直入射,光电元件直接接收光信号,因此信号幅度大,结构简单,一般可达每毫米100条纹线数,经电路细分,可做到微米级分辨率。如图5-3所示 图5-3 透射光栅组成 图 5-4 透射光栅工作原理图 二、莫尔条纹的特点 ⒈ 莫尔条纹的方向垂直于交角的角平分线,当夹角很小时,莫尔条纹与光栅移动方向垂直; ⒉ 莫尔条纹与光栅具有同步性,光栅移动一个栅距 , 莫尔条纹移动一个条纹宽度; ⒊ 莫尔条纹具有放大性和可调性,当夹角θ很小时, BW,提高了灵敏度;夹角θ减少, 条纹宽度B则增加; 三、光栅测量装置的特点 ⒈ 精度高:测长±(0.2+2×10-6L)μm,测角±0.1″; ⒉ 量程大:透射光栅的量程取决于光栅尺长,一般可达几米,反射光栅的量程则可高达几十米; 第五章 数控机床的位置检测装置 在线教务辅导网: 教材其余课件及动画素材请查阅在线教务辅导网 QQ:349134187 或者直接输入下面地址: 第五章 数控机床的位置检测装置 第五章 数控机床的位置检测装置 第五章 数控机床的位置检测装置 第五章 数控机床的位置检测装置 第五章 数控机床的位置检测装置 第五章 数控机床的位置检测装置 ⒋ 莫尔条纹具有平均误差的作用,光栅大量刻 线时,因制造上的缺陷,间断地少几条线纹只会影响千分之几的光电感应信号强弱,因此莫尔条纹提高了光栅的测量精度。
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