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沉积在硅油表面上Au 薄膜的电学性能及成膜机理
第 卷 第 期 真 空 科 学 与 技 术
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沉积在硅油表面上 薄膜的电学性能及成膜机理
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夏阿根 杨 波 金进生 叶全林 陶向明 叶高翔
（浙江大学物理系 杭州 #$%%’）
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摘要 采用硅油作基底，沉积出具有网状特征结构的逾渗 薄膜，用四引线方法原位测量 薄膜的电学性能，测得其
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电阻随沉积时间以及凝聚时间的变化规律，较好地解释了此类薄膜的生长机制。对 薄膜 特性的测量结果表明：生长在
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液体基底表面 薄膜的局域隧道电流和跳跃电导效应比一般薄膜更为强烈，其功率谱指数 趋于零，该值远
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