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静电耗散材料电阻和电阻率的测量 表面电阻/表面电阻率, 体积电阻/体积电阻率, 点对点电阻, 接地电阻的测量 l 表面电阻, 体积电阻, 点对点电阻, 接地电阻单位: l 表面电阻率单位: / □ l 体积电阻率单位: Ω•cm l 静电耗散材料标准: 4 11 5 12 n 表面电阻: 10 -10 ; 表面电阻率: 10 -10 / □ 4 11 4 11 n 体积电阻: 10 -10 ; 体积电阻率: 10 -10 Ω•cm 4 11 n 点对点电阻：10 -10 n 工作台面接地电阻： 109 n 防静电地板接地电阻： 109 n 导静电地板接地电阻： 106 l 测试仪器：重锤式静电电阻测试仪（测试方法：直流法） 表面电阻和表面电阻率测试 采用TOM600ME 或TOM374 静电电阻仪，配RME 1 同心圆重锤电极（如图1） 测试支撑板：要求表面光滑，表面电阻应大于 1013 ；尺 2.5kg同心圆重锤 寸应比实验样品在长度和宽度上多 10mm, 支撑板厚度至 绝缘屏蔽导线 少1mm 试样：要求为简单几何图形，呈薄板形，最小尺寸为80 x 120mm. 测量时，表面一般 应进行清洁处理。 将RME1 电极放置在试样上，仪 显示表面电阻值。阻值 4 11 绝缘体 小于10 ，为静电导体；阻值大于10 ，为静电绝缘体； 4 11 在10 -10 之间为静电耗散材料。 金属电极 表面电阻转换为表面电阻率： Π （d + d ） Ρ = R • 2 1 导电电极 s s d2 – d1 (邵氏硬度:70) R ：表面电阻；P ：表面电阻率 s s 图1 体积电阻和体积电阻率测试 采用TOM600ME 或TOM374 静电电阻仪，配ME250 重锤电极1 对（如图2 ） 测试支撑板：要求表面光滑，表面电阻应大于 1013 ；尺 2.5kg重锤 寸应比实验样品在长度和宽度上多 10mm, 支撑板厚度至 绝缘屏蔽导线 少1mm 试样：要求为简单几何图形，尺寸比电极直径大 10mm， 绝缘体 测量时，表面一般 应进行清洁处理。 金属电极 将 1 对 ME250 电极分别放置在试样上下2 面，仪 显示
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