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浅谈数显测高仪示值误差测量结果不确定度.pdf
学 术论坛 XUESHULUNTAN 浅谈数显测高仪示值误差测量结果不确定度 天纳克-埃贝赫(大连)排气系统预先公司 李 丞 摘 要:介绍 了数显测高仪检定方法,以及采用不确定度评定方法分析数显测高仪示值误差的技术指标 ,为在企业 中更好、更有效的使用数显测高仪提 供 了一定帮助。 关键词:数显测高仪 ;工件测量 一、检定数显测高仪 C5= ∂ LP / ∂ θP = -LSδα = 0 C6= ∂ LP / ∂ αS 1. 检定依据:JJF1254-2010《数显测高仪校准规范》。 =-LSδθ = 0 2.环境条件:校准数显测高仪室内温度(20±0.5)℃,每小 二、标准不确定度评定 时温度变化不大于0.3℃。 以校准1000mm校准点为例。 3.检定标准:(0.5~100)mm,(125~500)mm,(600~1000) u(L ) 1. 三等量块的影响 s mm三等量块,U=(0.1+1L) μm,k=2.7。 1.1三等量块组中心长度测量不确定度分量u(Ls 1) 分度值0.05℃电子温度计 。 1000mm三等量块中心长度不确定度影响: 4.被检对象:分辨率 0.1 微米、0.2 微米、0.5 微米、1 微 L=1000mm u(Ls 1) =(0.1+1L)/2.7= 0.41μm 米,量程(0-1000)mm数显测高仪。分辨率0.1微米数显测高仪 1.2量块竖放变形 引入的不确定度分量u(Ls 2 ) MPE=±(2μm +10-5L/3),L-mm。 大尺寸量块竖立放置,由于自重,中心长度变短,假设服从 5. 校准原理: U形分布,经有限元分析软件计算,对1000mm量块尺寸变化量为 数显测高仪示值误差校准是在00级平板上与相应量块组直接 0.19μm ,故 比较,通过被校仪器测出每一组量块组的长度Ls(相应量块组的实 u(Ls 2 ) = 0.19x0.7=0.13μm 际值),从而推算出测高仪各校准点示值Lp的示值误差d。 u(L ) 1.3三等量块的影响 s 5.1. 数学模型 数显测高仪各校准点示值误差计算公式为: u(L ) u2 (L 1) +u2 (L 2 ) 0.41 2 +0.13 2 0.43
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