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·124· 第4届全国建筑环境与设备技术交流大会文集 空调制冷 高世代TFT.LCD生产厂房 冷热源节能技术简介 世源科技工程有限公司秦学礼☆ 肖红梅廖国期 摘要介绍了高世代TET.LCD工厂的“三大”特点,简述了通风、空调、净化及动力系统设 计中采用的几种节能技术,并通过分析比较提出所采取的节能技术预期的效益。 关键词 TET.L(D冷热源温水水洗淋水加湿 扁管式DC 1概述 内干表冷器的作用主要是消除洁净室(区)内的显 最近,地方经济增长与四万亿投资需求结合引 热负荷,根据洁净室(区)内的实时温度,控制对应 发了国内薄膜晶体管液晶(TFT-LCD)显示器件生区域的干表冷器,以确保洁净室(区)的温度,这一 产线投资热潮,国内正在建设与计划投建的7.5代 方面避免冷热抵消现象,降低能源消耗,另一方面 以上高世代生产线已多达8条,高世代TFr-LcD由于循环空气处理需要干冷却过程,所需要的冷水 生产线特点是投资大,建设规模大,能耗大。以某 温度较高,通常高于14℃,如果与新风处理系统的 冷水分开制取,制冷机组可以得到较高的的性能系 第8代TFT-LCD项目为例,其主要指标见表1。 裹1某第8代TFr-LCD项目主要指标 数(00P)。新风空气处理装置一般采用组合式空 900 产能/(千片/月) 90全厂最大用电装设功率/(kV·A)367调机组,本工程机组功能段设置有:新风人口一粗 371 36500 厂区占地面积/一 554全厂最大用水量/(maid) 712 31000 效过滤器一一级预热盘管一二级预热盘管一预冷 总建筑面积/I一 215其中市政再生水/(一/d) 洁净室(核心生产区)面积/辞220000蒸ffil(tlh) 105 却盘管一温水淋水室一除湿冷却盘管一再热盘管 璺垫堡!!三垂 !塑 一风机一中效过滤器一高效过滤器一新风出口。 表1中的数据明显体现了高世代TFT-LCD 系统如图1所示。 生产线的“三大”特点,所以设计中应尽量采用节能 .级颅慢盘骨(热水) 赖冷黼镥f|}l温狰术 绂坝热龃嚣《热水M I 温水淋水宅 措施。 2通风、空调与洁净系统节能 2.1新风系统 溯园H圈圃图岭 2.1.1新风集中处理 除埘|々卸盘穹々f低潞冷水)l l I I高教址滤器 (辑{放Jd滤器Il;热盘诗(热水)险输衄栅l叶】设吐滤器 新风-t-FFU+DC是高世代TFT-LCD洁净室 经常采用的净化空调系统。由于洁净室对温湿度 圈1新风处理系统 参数均有要求,其室内工艺设备发热负荷及建筑围 2.1.2新风处理机组(MAU)变频 护结构传热负荷具有不稳定性,采用这种方式的优 在新风系统中,粗、中、高效过滤器的阻力是随 势是将洁净室送人空气的净化与热湿处理分开,洁 系统投入运行时间变化的,在新风机组设计时其风 净室的相对湿度由新风机组保证,根据新风处理机 组出口的露点温度控制除湿冷盘管的冷
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