溶胶_凝胶旋涂法制备ITO薄膜.pdfVIP

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2015-08-24 发布于重庆
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溶胶_凝胶旋涂法制备ITO薄膜.pdf

纳米材料与结构 Nanomaterial Structure 溶胶-凝胶旋涂法制备ITO 薄膜陈健,张江,高善民,曲荣君 (鲁东大学化学与材料科学学院,山东烟台 ) 264025 摘要:以和 · 为主要原料,采用溶胶凝胶法和旋转涂膜工艺,在普通玻璃基片 InClSnCl5HO - 3 4 2 上制备掺锡氧化铟 ( )纳米透明导电薄膜。应用射线衍射 ( )、扫描电子显微镜 ITO X XRD ( )对薄膜进行表征;研究了不同热处理温度、热处理时间及不同旋转速度对薄膜形态和结 SEM 构的影响。结果表明,采用溶胶凝胶旋涂法制备的薄膜是由立方相纳米颗粒构成,随涂层 - ITO 增加,薄膜表面变得平滑。随热处理温度的提高或时间的延长,薄膜由非晶态逐渐转化为良好的晶态薄膜。关键词: 薄膜;溶胶凝胶法;制备;表征 ITO - 中图分类号: 文献标识码: 文章编号: ( ) O484.4 A 1671-4776200703-0132-05 , , , CHENJianZHANGJiangGAOShan-minQURong-jun ( , , , ) School ofChemistryandLudongUniversityMaterialsScienceYantai 264025China : · , AbstractUsingInCland SnCl5HO as rawmaterials 3 4 2 ( ) XRD ( ) , electron microscope SEM ,the face heattreatment temperatureandtime. : ; ; ; Key words ITOthinfilmssol-gelprocesspreparationcharacterization [] 蔽、热镜薄膜等方面获得了广泛应用 3。 1 引言薄膜的制备方法很多,目前应用较广泛的 ITO