ICPAES法测定多晶硅中的杂质元素.pdfVIP

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2015-08-24 发布于重庆
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ICPAES法测定多晶硅中的杂质元素.pdf

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ICPAES法测定多晶硅中的杂质元素.pdf

876 2009 (40) * ICPAES 胡玉燕, 田俊, 叶其辉, 陈红雨, 李核 ( , 510006) # : 探讨了采用ICPAES 法同时测定多晶硅中 , 100200 300 3 的FeAlCaMnCuCrNiTiZnAsPB 等12 种杂元素,该方法测定的元素相对标准偏差( RS ) 均 2.2 2. 4%, 回收率为92%~ 104.8% , 方法检出限低, 测 Thermo electron corporation Chang 定结果准确可靠 ICPIRIS INT REPI ! XSP : ICPAES;; ; : Advantage IRIS : O657.3 : A ,T hermoSpec , CI :2009) 087603 ; HNO3 ( GR) ; HCl( GR) ; HClO4 ( GR) ; HF (GR) ; ;: 2. 5g/ L; FeAlCaBP 1 AsCrNiCuTiMnZn ( 1. 0mg/ , ml) , , 2.3 ICP CO2 SO2 , , 1 , , 10%() ,1 , 2020 1 18GW , 2000 278MW Table 1 Preparation of standard solutions , 标准系列号 1 2 3 4 5 Fe, Al 0 1. 0 2.0 25.0 50. 0 [ 1~ 4] , 每标准点中各 Ca 0 1. 0 5.0 15.0 30. 0 , 元素的浓度 Mn, P,Cr, , ( mg / L) Cu,Ni, 0 0. 1 0.5 1. 0 10. 0 , Ti, Zn,As,B Fe 2.4 AlCa : 15cm; : [5] , , 1150W; : 10s, ,(ICP 5s;: 25. 0PSI; : 120r/ min; AES) :0.5L/ min; :2. 22ml/