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微波等离子体化学气相沉积法低温制备直纳米碳管膜.pdf
第 期 无 机 化 学 学 报 M*2+ $’; )*+
年 月 AOT).H. UBVW),J B? T)BWX,)TA AO.RTHYWZ R0S+; !
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研究简报
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微波等离子体化学气相沉积法低温制备直纳米碳管膜
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王升高 汪建华 张保华 王传新 马志斌 满卫东
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武汉化工学院等离子体化学与新材料省重点实验室 材料科学与工程系 武汉
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( ! 中国科学院等离子体物理研究所 合肥 -
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关键词 直纳米碳管膜 ?@#A*#)1 合金 微波等离子体化学气相沉积法 低温 镍基板
分类号 BC $+ $ BC $$+ 7
面 F K G
自 年发现纳米碳管以来 纳米碳管以其优 除 等 利用化学气相沉积法在
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异的性能和众多的潜在用途吸引了人们的广泛关 合成了直纳米碳管外 尚未见其他有关报道。本研究
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注。美国科学家 说 要我比较 和纳米碳 则在负载在镍基板上的 的催化作用下 利
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管的应用前景 如果我可以用一张纸来描述 那 用具有优异的低温沉积特点的微波等离子体化学气
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么就需要一整本书来介绍纳米碳管。曾经作为合成 相沉积法在C $L 的温
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