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平面度快速检测.doc
Webon快速平面度检测
一．首先采用平面检测仪器
对研磨后的器件平面采用平面度检测仪定初步精度
如研磨后的器件达到5um以内 可以用平晶进行检测
未达到 继续研磨 器件可以不用下盘。
FG-5 检测120以内
FG-7 检测170以内
FG-9 检测220以内
FG-30 检测650以内
二 达到5um以内用平面平晶体检测
．首先看是否有条纹。是否合格
以300的密封器件为例的。
检测的整个面 必须首先看到同心圆才合格
2um的面型精度 整个面的同心圆条纹 小于3个
1个同心圆条纹精度大于在0.8um
3个就是2.4um左右
也就是说必须是小于3个的同心圆条纹才合格。
N3
Cdw-30 I 30mm Φ30 15mm Cdw-45 I 45mm Φ45 15mm Cdw-60 I 60mm Φ60 20mm Cdw-80 I 80mm Φ80 20mm Cdw-100 I 100mm Φ100 25mm Cdw-150 I 150mm Φ150 30mm Cdw-200 I 200mm Φ200 40mm Cdw-250 I 250mm Φ250 45mm Cdw-300 I 300mm Φ300 45mm Cdw-350 I 350mm Φ350 45mm
CDX-ML18 CDX-ML30
三 。以下是检测中会出现的问题。
条纹非常密集。
两种情况。1. 加工出得元件精度远远不够。
2. 平晶和元件之间有异物 灰尘 没处理干净
条纹非常乱
情况是 加工的研磨盘凹凸不平 不在一个平面上。元件研磨后整个面就是乱的、
同心圆条纹圈数太多。
情况是 元件精度还不达标 继续研磨直到圆圈数少于3个。
以上的假设的情况 现场情况有变化 请及时联系我们
成都威博恩科技有限公司
我们致力于做全球最好的光测试产品
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