SEAM上下表面检测成像系统的实现及实验结果初探.pdfVIP

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2017-08-13 发布于安徽
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SEAM上下表面检测成像系统的实现及实验结果初探.pdf

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第28卷第6期声学技术 V01．28，No．6Pt．2 2009年12月 TeehniealAcoustics Dec．，2009 SEAM上下表面检测成像系统的实现及实验结果初探张迪，钱梦脲。 (同济大学声学研究所，上海200092) tothe ofthe Surface PrimaryInvestigationSetup Upper-and-—Lower inSEAMwith Result ImagingSystem Experiment ZHANG Di．QIANMeng—lu· (InstituteofAcoustics,Ton谢iUniversity,Shanghai200092,China) 1引言 EI●∞砷口岍 1980年，Cargill[1J和Rosencwaig[2]等人分别基 $EW ，-——-——_、 CⅫ 于压电光声显微镜技术的启发发明了扫描电子声显嬲盈l。鬻． l 微镜，由于它具有的高分辨率(优于0．51an)、能同 l≈☆m．一 l I ／时获得试样表面的二次电子像和亚表面的电子声像亍’ ／。／以及试样制备简单等优点，至今已发展成为一种独，毒蜮，特的材料表征和亚表面成像技术。目前已广泛应用 l晕檀：于材料分析、残余应力检测、铁电畴结构研究、半导体掺杂及生物组织试样研究成像等领域中。本文基于本实验室已建立的扫描电子声显微镜图lSEAM上下表面成像系统示意图系统，通过增加耦合在材料表面的PZT检测电子声 Theschematicofthe surface Fig．1 diagramupp日-and-lowcrimaging 效应在试样表面激发的应变场，验证了SEAM上表 inSEAM system 面接收电子声信号的可行性，并得到了一定的实验本实验系统除了包括传统的SEAM试样背表结果。面接收成像外，在试样上表面通过耦合一块环形 2上下表面成像系统的实现 PZT片，上下两路信号经前置放大器进行微信号放