真空镀镀膜控制技术.pdfVIP

说明：这是我们某台机器的操作软件的说明。仅供参考。由于整个电 气控制系统及控制程序都是本公司独立完成的，所以可以很方便地根 据用户的不同配置和工艺需求制作适合于用户自身的镀膜系统。 这台机器的用户使用了晶控生产商的晶控设置软件DCM250 。您也可 以选用我们自己开发的嵌入到控制软件中的晶控设置程序，中文界面 使您操作更加方便。 SX01-A 真空镀膜控制系统 说明书 概述概述 概述概述 SX01-A 全自动真空镀膜控制系统是以晶体膜厚控制系统（CRYSTAL MONITOR，简称晶控） 为镀膜控制中心而建立的自动镀膜控制系统，能够实现从真空到镀膜过程的全自动控制。 硬件结构硬件结构 硬件结构硬件结构 通讯 通讯 晶控 计算机 质量流量计 通讯 挡板 束 流 PLC I/O I/O 日本电子F 系列电子枪电源 真空系统 系统硬件结构以计算机为指令中心，以PLC 为控制中心，以晶控为镀膜控制中心。计算机 通过 PLC 对真空系统和电子枪电源进行开关控制，在蒸镀时通过通讯方式控制质量流量计 自动进行充氧；晶控通过对电子枪束流的控制实现蒸镀束率的稳定，并对膜厚进行监控，最 后通过PLC 对挡板(SHUTTER)进行控制。 软件结构软件结构 软件结构软件结构 此系统软件包括本机PC 控制、PLC 控制软件以及晶控生产商的晶控设置软件DCM250 。其 中DCM250 可以通过本机PC 控制程序的主画面由用户在需要时启动。PC 程序以发送指令 和通讯为主，PLC 程序进行具体的控制行为，保证了整套系统的可靠性。 操作操作 操作操作 请注意请注意：本机的主控计算机是带硬盘的计算机：本机的主控计算机是带硬盘的计算机，不是一般的触摸屏，不是一般的触摸屏，所以关闭总电源前一，所以关闭总电源前一 请注意请注意：：本机的主控计算机是带硬盘的计算机本机的主控计算机是带硬盘的计算机，，不是一般的触摸屏不是一般的触摸屏，，所以关闭总电源前一所以关闭总电源前一 定要按主画面上的定要按主画面上的 “退出系统“退出系统”按钮退出操作系统”按钮退出操作系统。。 定要按主画面上的定要按主画面上的 ““退出系统退出系统””按钮退出操作系统按钮退出操作系统。。 由于采用以计算机为指令中心的方式，所以本机的操作非常简便。 在本机的