单晶炉不锈钢焊接工艺的探讨11939.pdfVIP

维普资讯 ：遣 鱼： 团 单 晶 炉 不 锈 钢 焊 接 工 艺 的 探 讨 施 政 (浙江大学机械厂，浙江 杭州 3l0027) 摘 要 ：单晶炉炉室壳体密闭性是衡量单晶炉设备性能好坏的重要因素。主要探讨在制造单晶炉 炉室壳体过程中，采用恰3-的不锈钢焊接工艺，提高单晶炉炉室壳体的抗腐蚀性能，改善密闭性， 从而提高整台单晶炉设备的可靠性。 关键词 ：单晶炉；不锈钢；焊接 中图分类号：TG405 文献标识码：A 文章编号：1004-4507(2005)02-0070-03 SomeViewsonW eldingTechniqueof StainlessSteelinCrysatlGrower SHIZheng (ZhejiangUniversityMachineFactory，Hangzhou310027，P．R．China) Abstract： TheobturationcharacterincrystalgrowerschamberiSone0 themostimportantfactorsto judgetheequipmentSreliabilityandcapability．Thisarticlemainlyisfocusonstainlesssteelwelding techniquesthathavebeentakeninthemanufacturingprocedureofcrystalgrower．Thosetechniquesaim atimprovingtheabilityonanti-corrosionandmelioratingtheobturationofcrystalgrowerSchamberSOas toimprovethereliabilityofequipment． Keywords：Crystalrgower；Stainlesssteel；Welding 目前生产硅单晶的工艺种类繁多，但大多数硅 他技术指标，成为衡量和评判设备性能好坏的第一 单晶的生长方法都是在充有惰性气体的密闭炉室 要素。本文主要探讨在制造单晶炉炉室壳体过程 内，采用石墨电阻加热的方法。 中，采用恰当的不锈钢焊接工艺，提高单晶炉炉室 由于单晶炉炉室内的工作温度高达 1450℃甚 壳体的抗腐蚀性能，改善密闭性，从而提高整台单 至更高，因此炉室壳体需采用夹层结构以便通水冷 晶炉设备的可靠性。 却。对于如此高的温度，炉室壳体的焊接质量至关 重要。通过近年来对国内硅单晶材料生产的实践调 1 单晶炉炉室壳体材料的选择 查，在对单晶炉使用寿命和可靠性的影响上，炉室 壳体的密闭性已经超过机械 电器运行平稳性和其 硅单晶生产时温度高，需防止单晶炉炉室壳体 收稿 日期 ：2004—10—11 作者简介：施政，1971，7，男，杭州，汉族，大学，工程师，浙江大学机械厂研究室主任，杭州凯克斯浙大机电有限公司技术部部长。 ⑩ (总第121期)囝圜—岫 维普资讯 j 电 子 工 业 专 用 设 备 · IC制造与设备 · 的材料挥发影响硅单晶的纯度；单晶炉炉室壳体夹 缝，奥氏体不锈钢比奥氏体一铁素体不锈钢更易产 层需通冷却水冷却，所 以还需防止冷却水的腐蚀。 生，奥氏体不锈钢在状态图中液相线和固相线间距 奥氏体不锈钢不但具有优 良的耐蚀性、塑性、耐高 大，既凝固过程有较大的的温度范围，使低熔点杂 温性能和可焊性，而且还具有出气率