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第 卷 第 期 光学 精密工程 １７ ８ 　 Ｖｏｌ．１７ Ｎｏ．８ 　 　 　　 　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００９ ８ Ａｕ．２００９ 　 　 　 ｇ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００９０８１８０４０６ 　 基于 的 射线小角散射 犈犘犐犆犛 犛犛犚犉犡 实验站运动控制系统 ， １２ １ １ １ １ 刘 倩 ，边风刚 ，柳 义 ，王 稢 ，夏绍建 　 　 　 （ 中国科学院 上海应用物理研究所，上海 ； １． ２０１８００ ２．中国科学院 研究生院，北京１０００４９） 摘要：运动控制系统是上海光源（ ） 射线小角散射（ ）实验站建设的重要组成部分，该控制系统通过对实验站 ＳＳＲＦＸ ＳＡＸＳ 运动部件的远程精确控制来实现对光斑的准直调节和寻找最佳的散射实验样品放置位置，以满足不同用户的实验环境 要求。该系统采用国际加速器控制界称为“标准模型”的分布式控制体系结构，应用 ＥＰＩＣＳ软件实现了对实验站的 ２３ 个运动部件的远程运动控制，被控设备包括两个四刀口单色光狭缝及其三维狭缝支撑平台、七维样品台和两个 Ｂｅａｍ Ｓｔｏｐ。运动测试结果表明：系统的运动分辨率最大为 ２０ ｍ，最小为 ０．３３３３３ ｍ，运动误差约为 １％。测试结果满足小 μ μ 角散射实验站运动控制的要求，具有高的稳定性、可重复性和精度。目前该系统已成功应用于 ＳＳＲＦＳＡＸＳ实验站的调 试运行。 关 键 词：上海光源；小角散射；运动控制； ＥＰＩＣＳ 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ＴＬ５０３．６ＴＰ８７２ Ａ 　　 犈犘犐犆犛犫犪狊犲犱犿狅狋犻狅狀犮狅狀狋狉狅犾狊狊狋犲犿狅犳犛犛犚犉犛犃犡犛 狔 ， １２ １ １ １ １ ， ， ， ， ＬＩＵＱｉａｎ ＢＩＡＮＦｅｎａｎ ＬＩＵＹｉＷＡＮＧＪｉｅ ＸＩＡＳｈａｏｉａｎ