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半导体的资料Etch-Introduction.pdfVIP

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    ETCHIntroduction

    2006.02.15

    隆

    ArrayProcessFlow

    5masksGateGISES/DPVITO

    Unpacked/glassin

    Cleaner

    T/F

    Photo

    WetDryETCH

    StripperScopeofETCH

    Contents

    •ETCHintroduction

    •WetDryetcherintroduction

    •StripperCleanerintroduction

    •Summary

    PurposesofETCH

    •TFT不

    WetDryetch:路

    :路

    StripperCleaner:particles

    :particles

    Film

    Particle

    CleanerT/F

    Glass

    Photo

    PR

    StripperWetDryetch

    EQsofETCH

    DNSWetetcher

    Etcher

    TELDryetcher

    ETCHDNSStripper

    StripperShibauraInitialcleaner

    Cleaner

    ShibauraPre-depocleaner

    MicroDensecleaner

    WetetcherDryetcher

    PurposesofWet/DryETCH

    •T/F+Photo•Wetetching•Stripper

    AlfilmPR路

    WetETCHvs.DryETCH

    WetETCH

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