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DigitalChipTestingwithAgilent93000SOCSeries(上)
文/陳正斌
摘要
由於本中心舊有之晶片量測系統IMSATS200使用已達10年，故障頻繁，已無法對各界提
供良好服務，為了提升國內學術界透過本中心下線之晶片量測環境，以及產業未來發展，中心
於西元2004年引進『Agilent93000SOCSeries』混合訊號自動測試設備，該機台特色為模組化
設計，可針對不同類別的IC選購不同的模組，來達到在單一平台上就可以測試各式各樣的IC，
包括了純數位IC、混合訊號IC與SoC系統單晶片。在引進此設備後，中心將建立嶄新的晶片
測試環境，提供各界更良好晶片測試環境。本文將對中心引進的『混合訊號自動測試設備』功
能以及如何使用此設備來進行數位晶片測試作一簡單介紹。
一、簡介
CIC目前所引進Agilent93000SOCSeries自動測試設備其外觀如圖1所示，其中testhead
內部即為所有channelboard所存放位置，待測試的IC則是透過DUTboard與DUTinterface與
testhead內部的channelboard連接在一起，manipulator內部放置鉛塊來平衡testhead的重量，
supportrack內部放置工作站或其他外加儀器。CIC目前所購買的模組其功能概述如下：在數位
模組中，支援的datachannel數量達320，而每個channel的datarate更達到660Mbps。至於vector
memory的容量，每個channel有28MVectors，若作為scan測試使用時，由於scanpattern的
waveform變化較少，因此每個channel的scanmemory的容量可至84MVectors。至於類比的
Instrument共有4組，二組為ArbitraryWaveformGenerator(AWG)，可以產生類比量測所需的訊
號給混合訊號或類比的晶片，二組為Digitizer，可以將混合訊號或類比晶片所產生的類比訊號進
行取樣，加上分析進而得到所要的量測結果。AWG的規格分別為16bitsresolution、30Msps
samplingrate以及12bitsresolution、500Mspssamplingrate。Digitizer的規格分別為16bits
resolution、3MHzbandwidth以及12bitsresolution、100MHzbandwidth。最後提供待測IC電源的
模組共有8組電源，可同時產生8種不同的電源給待測IC，每組電源可支援的規格為7V的電
壓以及6A的電流。機台的功能強大，軟體操作複雜，因此本文將先針對如何利用此機台對數位
IC進行測試進行說明，讓讀者可在短時間內瞭解如何操作此機台，來進行數位IC測試。
1
Manipulator
DUTBoard
DUTInterface
SupportRack
Testhead
圖1Agilent93000SOCSeries外觀圖
圖片來源：Agilent93000SOCSeries型錄
二、TestDevelopmentFlow
1.測試開發流程總覽
使用測
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