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摘要
键合线作为连接芯片和引线框架的关键部分,是半导体集成电路、分立器件、
传感器、光电子等封装工艺中不可或缺的基础材料,其质量与封装的质量直接相
关。随着电子产品向更高性能、更小型化、更低成本的方向发展,微电子封装面
临的技术挑战也日益增加。近年来,金的价格大幅上涨,使得以金为主要材料的
键合线成本持续升高;银线存在易氧化、银离子迁移的问题;Al线因其机械性能
差,高温易氧化,性能不稳定等问题难以在微电子封装中大规模使用;铜线首先
具有成本优势,其次铜具有比金更低的电阻率,更高的导热率和成弧
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