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本发明提供了一种半导体级超高纯四氯化钛的提纯方法及提纯系统。所述提纯系统至少包括精馏塔，所述精馏塔中精馏柱从下到上依次包括不锈钢θ环填料工段、石英填料工段、铝丝编织θ环填料工段、石英填料工段，其中铝制工段与粗四氯化钛反应，生成三氯化钛，三氯化钛与难去除的杂质反应，提高杂质化合物沸点，大大提高了产物的纯度；所述提纯方法包括将原料粗四氯化钛经过所述提纯系统精馏得到半导体级超高纯四氯化钛。本发明中经过各工段协同作用一次精馏得到半导体级超高纯四氯化钛，工艺简单，损耗少，易推广；产物纯度达到99.9999
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117247043A
(43)申请公布日2023.12.19
(21)申请号202311239541.5
(22)申请日2023.09.25
(71)申请人江苏南大光电材料股份有限公司
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