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新型纳米复合薄膜光学特性调控技术研究
目录
文档概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
1.1.1纳米科技发展趋势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7
1.1.2纳米复合薄膜材料应用前景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
1.1.3光学特性调控的重要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13
1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15
1.2.1国外研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17
1.2.2国内研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
1.2.3现有研究不足．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20
1.3研究目标与内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23
1.3.1主要研究目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24
1.3.2具体研究内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25
1.4技术路线与研究方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
1.4.1技术路线设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32
1.4.2研究方法选取．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35
1.5论文结构安排．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38
纳米复合薄膜光学特性理论基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40
2.1光与物质相互作用原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
2.1.1光吸收现象．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47
2.1.2光散射机制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48
2.1.3光反射规律．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49
2.2纳米复合薄膜结构特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．52
2.2.1薄膜厚度效应．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．53
2.2.2粒径尺寸影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．55
2.2.3相互作用机制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．58
2.3影响光学特性的主要因素．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．60
2.3.1材料组分效应．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．65
2.3.2微结构形态作用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．67
2.3.3外部环境干扰．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．70
新型纳米复合薄膜制备技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．72
3.1薄膜制备工艺介绍．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．74
3.1.1溅射沉积法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．76
3.1.2溶胶凝胶法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．77
3.1.3化学气相沉积法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．80
3.1.4其他制备方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．81
3.2制备工艺参数优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．85
3.2.1沉积速率控制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．
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