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微细力口工技市研究进展

周焱

湖南科技职业学院机电系，长沙410004

摘要：微细加工技术是随着微机电系统(MEMS)技术的发展而被广泛接受的一种在微小尺度内实现功能、信息集成

化的生产加工技术0文中阐述近年来国内外微细加工的发展动向及开发的一些新加工技术，详细介绍了基于超精密加

工、硅微加工．LIGA加工、原子力显微镜加工及微，纳压印加工技术等微细加工技术，探讨了各种加工技术的优越性、适

用性及可靠性并提出展望。

关键词：微机电系统；微细加工

中图分类号：TG66文献标识码：A文章编号：1002-2333(2006)11—0029一n3

DevelopmentofMicromachiningTechnologies

ZHOUYan

(DepartmentofMeehaniesandElectries．HuuanScienceandreehnologyCollege，Changsha410004，China)

Abstract：WiththedevelopmentofMiero-electro-meehanicalsystems(MEMS)，micromachiningtechnologieshavebeen

acceptedwidelyasmicro-processesduetotheirperfmmantesan(tinformationintegrahonsinmicro-scale．The

concept，thecontentandthereeentproductsdevelopedofmicro1a(、hiningarepresentedindetail．Super—precisi0n，

siliconrnicro—processingLIGA，atomicforcemicroscope(AFM)andimprintlithographytechnologieshaveusedfor

micromachininginMEMShavebeenintroduced，andtheiradvantagesantidisadvantages，applicabilityandreliability

havebeendiscussedinthefutureindetail．

Keywords：micro—electro-mechanicalsystems(MEMS)；n1cr0machining

1前言统和Jl[IlI~视系统等组成，针对较小加]_器件，可采用光学显

随着微机电系统(MEMS)的快速发展，微细加技术微系统来察其切削过程与状态。

作为实现MEMS技术的关键也开始引起世界发达国家的2．2微细磨削加工

材料科学T作者和工业界的极大关注。微细加T技术足磨削加主要是将砂轮和砂带表面上的磨粒近似看

MEMS技术的核心技术，是MEMS技术的关键和基础，也成微刃，整个砂轮町看成铣刀。磨削加丁微器件时需注意

是MEMS技术研究中最活跃的领域。以下问题：磨粒在高速、高压和高温作用下会变钝，且切

微细加T起源于半导体制造T艺，是指)Ill-K尺度在削能力下降；磨粒可能脱落，砂轮失去外形精度；选用磨

微米级的加T方式，在微机械研究领域中，它是微米级，粒材料时要求耐高温高压，常用的磨粒材料有人造金刚

亚微米级乃至纳米级微细加T的通称。微细加T方式十石。Weck等采用金刚石作为磨具加丁微结构，如图1