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应用于MEMS陀螺仪的高精度Sigma-Delta ADC设计研究.docxVIP

应用于MEMS陀螺仪的高精度Sigma-Delta ADC设计研究.docx

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    应用于MEMS陀螺仪的高精度Sigma-DeltaADC设计研究

    一、引言

    随着微电子机械系统（MEMS）技术的快速发展，MEMS陀螺仪在众多领域得到了广泛应用，如航空、汽车、智能手机等。其高精度的测量要求推动了Sigma-DeltaADC（模数转换器）的设计进步。Sigma-DeltaADC作为一种高效的数字接口转换器，因其高精度和抗干扰能力强等优点，成为了MEMS陀螺仪的重要组件。本文将详细探讨应用于MEMS陀螺仪的高精度Sigma-DeltaADC设计研究。

    二、Sigma-DeltaADC的基本原理

    Sigma-DeltaADC是一种过采样技术的ADC，其基本原理是通过高

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