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电子行业光刻机国产化迫在眉睫，关注产业链投资机会.pdf

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    1.光刻机：工业皇冠上的明珠5

    1.1光刻是芯片制造的关键工艺，光刻机是核心设备5

    1.2掩膜光刻和直写光刻各有不同应用，投影式光刻逐渐替代接触/

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