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质谱仪-真空系统
真空系统质谱仪的离子源、质量分析器及检测器系统必须处于高真空状态
离子源的真空度：1.3×10-4~1.3×10-5Pa质量分析器的真空度：1.3×10-6Pa若真空度过低①会造成离子源灯丝损坏②本底增高，干扰质谱图③引起额外的离子-分子反应，改变裂解模型，使图谱复杂化、干扰离子源的调节、加速极放电等问题。一般采用机械泵预抽真空后，再用高效率扩散泵连续地运行以保持真空。真空系统（真空泵等）
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