TCIRA-电子工业用气体三氟化硼[11BF3]编制说明.pdfVIP

团体标准

编制说明

标准名称：电子工业用气体三氟化硼[11BF]

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主编单位：深圳市中核海得威生物科技有限公司

参编单位：中昊光明化工研究设计院有限公司

核工业北京地质研究院

大连光明化学工业气体质量监测中心有限公

司

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《电子工业用气体三氟化硼[BF]》编制说明

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一、任务来源及计划要求

本文件编制计划项目是由中国同位素与辐射行业协会提出，经中国

同位素与辐射行业协会（以下简称：协会）批准立项，正式列入中国同

位素与辐射行业协会文件中同辐协〔2023〕22号，2023年第一批团体

标准立项计划项目，项目计划编号为CIRA-STD2308，项目名称为电子

工业用气体三氟化硼[11BF]。

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三氟化硼电子气体主要应用于半导体制程中的掺杂工艺，使用天然

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丰度硼掺杂剂的半导体器件易受B核与入射中子反应的影响，在使用

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的过程中，影响半导体器件的性能，B对热中子的吸收截面仅为0.005

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巴，远低于B同位素，因此不易吸收中子并发生反应。BF3主要应用

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于航天、军工领域高性能芯片，BF掺杂剂可以缓解单电子效应，提高

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掺杂的均匀度。提高集成电路芯片抗辐射、抗单电子效应的能力。

GB/T14603-2009《电子工业用气体三氟化硼》，所规范的是天然丰

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度三氟化硼的质量标准，缺少对B同位素的丰度等指标的要求。没有

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电子工业用BF3的标准，也没有相关的质量控制指标和检测方法。在

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航天、军工领域高性能芯片制造过程中，倾向于使用高丰度的BF。国

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外企业linde等实现了BF3电子气体进行批量生产，并已经供应中国市

场多年，同时随着技术的发展，对该气体的指标要求日益提高。因此需

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要制定电子工业用气体三氟化硼[BF]的标准，对BF气体中B同

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位素的丰度等指标进行控制，并提供各指标的检测方法。

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本标准的名称为《电子工业用气体三氟化硼[11BF]》，主要用于规范

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电子工业用气体三氟化硼[11BF]技术要求、检验方法、检验规则、标识、