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集成电路设备行业实施方案

20xx年

我国集成电路设冬市场规模变动情况与全球集成电路设备市场规

模变动基本一致，但总体规模较小，且严依赖进口，8英寸和12英

寸的先进硅片和制造设备基本依靠进口，8英寸以下的生产线也有大量

进口翻新的二手设备。SEMI预计，2018年，我国半导体设备市场规模

为130亿美元，同比增长71%,2009年至2018年的复合增长率为

33.44%O其中中国公司和非中国公司的支出比例几乎持平。

加强产业政策与财税、金融等相关政策的衔接，支持各类社会资

本参与企业并购组，合力推进产业稳增长、调结构、转型升级、降

本增效。积极协调落实相关配套政策，加强对区域的督促指导，统筹

推进各项工作。

为推动区域产业转型升级、持续健康发展，制定本规划方案，请

结合实际认真贯彻执行。

第一部分发展思路

牢固树立创新、协调、绿色、开放、共享的发展理念，明确点

任务，实现产业稳增长、调结构、转方式和可持续发展，大力璀动产

业跨越式发展。

第二部分发展原则

1、因地制宜，科学发展。充分结合各区域经济社会发展水平、资

源条件，分地区、分类型制定科学合理的工作路线，指导推动产业现

代化发展。

2、开放融合。树立全球视野，对标国际先进，把握“一带一路”

大战略契机，聚焦产业点领域，探索发展合作新模式，在全球范

围配置产业链、创新链和价值链，更大范围、更高层次上参与产业竞

争合作，走开放式创新和国际化发展的道路。

3、产业联动，协同发展。统筹协调产业与关联产业联动发展，培

育关联生产性服务业，促进产业成链发展，提升产业发展水平，增强

行业发展的整体性和协调性，扩大高端产品服务供给，快产业和产

品向价值链中高端跃升。

4、坚持创新发展。围绕战略性新型产业，通过技术创新、管理创

新和产业创新，快产业现代化进程，不断提高产品档次，提升企业

效益。

5、依法推进，规范管理。积极完善政策制度体系，以政策、规划、

标准等手段规范市场主体行为，综合运用价格、财税、金融等经济手

段，发挥市场配置资源的决定性作用，营造有利于产业发展的市场环

境，激发市场使用产业的内生动力。

第三部分背景分析

我国集成电路设备市场规模变动情况与全球集成电路设备市场规

模变动基本一致，但总体规模较小，且严重依赖进口，8英寸和12英

寸的先进硅片和制造设备基本依靠进口，8英寸以下的生产线也有大量

进口翻新的二手设备。SEMI预计，2018年，我国半导体设备市场规模

为130亿美元，同比增长7设，2009年至2018年的复合增长率为

33.44%O其中中国公司和非中国公司的支出比例几乎持平。

2008年以前，我国集成电路设备基本依靠进口2009年，我国集成

电路设备市场规模仅为9.69亿美元，进口规模和自制规模分别为9亿

美元和0.69亿美元，设备自制比例7%（CISA数据，本段以下同）。

2010年以来，我国快设备进口速度，2016年设备进口规模达到36

亿美元，是09年的4倍，设备自制率下降为3%,进口依赖严重。为改

善集成电路设备进口以来情况，国家设立了科技重大专项一一极大规

模集成电路制造设备及成套工艺科技项目（简称02专项）。2011年以

来，我国集成电路进口依赖严重的问题开始逐步改善，15种12英寸主

要设备通过大生产验证。2012年首次达到12%,到2015年逐步上升至

16%o

受惠于02专项和国内其他集成电路发展基金，2010年国内集成电

路设备市场规模激增283%,达到37.07亿元C（ISA数据）。2011年和

2012年受到整体经济发展的影响有所下滑，2013年以后恢复增长，

2013年到2017年之间的复合增长率高达22.11%,增量主要来自薄膜

制造设备、离子注入设备和封装设备。

由于地理上的优势，国产设备