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（优选）X射线光电子能谱XPS课件XPS的基本原理XPS是一种基于光电效应的电子能谱，它是利用X射线光子激发出物质表面原子的内层电子，通过对这些电子进行能量分析而获得的一种能谱。这种能谱最初是被用来进行化学分析，因此也叫做化学分析电子能谱（ESCA）。XPS的基本原理在实验时样品表面受辐照损伤小，XPS是用X射线光子激发原子的内层电子发生电离，产生光电子，这些内层能级的结合能对特定的元素具有特定的值，因此通过测定电子的结合能和谱峰强度，可鉴定除H和He（它们没有内层能级）之外的全部元素以及元素的定量分析，并具有很高的绝对灵敏度。XPS的用途元素的定性分析。可以根据能谱图中出现
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