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第42卷第12期红外与激光工程2013年l2月

Vo1．42NO．12InfraredandLaserEngineeringDec．2013

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电子倍增CCD性能参数测试方法研究

张闻文，钱月红，陈钱，顾国华

(南京理工大学电子工程与光电技术学院．江苏南京210094)

摘要：电子倍增CCD(EMCCD)性能参数测试是电子倍增CCD芯片及其成像系统研制的重要辅助

手段和设计依据。在对EMCCD的工作原理进行了阐述之后，介绍了EMCCD的各项特性参数，分析

了相关参数的测试方法。针对测试过程中出现的单位转换问题，引入了转换增益的概念，提出了基于

改进的光子转移技术的EMCCD性能参数的测试方法，建立了EMCCD性能参数测试系统。该系统包

括高稳定度可控标准钨灯、光学系统、暗箱、数据采集与处理系统等。对AndorLuca相机的转换增益、

满阱容量、倍增增益、读出噪声、时钟诱导噪声和暗电流进行了测试。实验结果表明：测试值与相机的

指标值基本一致，测试结果准确，证明了所提出的测试方法有效可靠。

关键词：电子倍增CCD；测试；光子转移技术；转换增益；噪声

中图分类号：TN223文献标志码：A文章编号：1007—2276(2013)12—3390—06

PerformanceparameterstestofelectronmultiplyingCCD

ZhangWenwen，QianYuehong，ChenQian，GuGuohua

(SchoolofElectronicEngineering＆Photoelectrictechnology，NanjingUniversityofScience＆Technology，Nanjing210094，China)

Abstract：TheperformancetestofElecrtonmultiplyingCCD(EMCCD)isanimportantadjunctand

designbasisofelectronmultiplyingCCDchipnadthewholeimagingsystem．Inthispaper，theworking

principlesofEMCCDwereintroduced，andthenhtecharacteristicparametersofEMCCDwaspresented．

Aimingattheproblemofunitconversionintheprocessoftesting，theconceptofconversiongainwas

introduced．TheparameterstestofhteelectronmultiplyingCCDwasproposedbasedonimprovedphoton

rtansfertechnology，theEMCCDperformancepraametertestingsystemalsowasestablished．Thesystem

includedahighstabilitynadcontrollablestnadardtungstenlamp，optic~system，theblackbox，data

acquisitionandprocessingsystem．Thesepraameterswer