GB/T 43725-2024直写成像式曝光设备.pdf

ICS31.260

CCSL97

中华人民共和国国家标准

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GBT437252024

直写成像式曝光设备

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2024-03-15发布2024-10-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT437252024

目次

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4分类与结构………………3

5技术要求…………………4

6测试方法…………………8

7检验规则…………………11

、、、…………

8标识标志包装运输和贮存12

9产品随机文件……………13

Ⅰ

/—

GBT437252024

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(/)提出并归口。