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2024-03-31 发布于广东
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空气洁净度等级标准

美国联邦标准Fed-Std-209E空气洁净度等级

等级名称

最大浓度限值

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

5μm

容积单位

国际

单位

英制

单位

（m3）

（ft3）

（m3）

（ft3）

（m3）

（ft3）

（m3）

（ft3）

（m3）

（ft3）

350

9.91

75.7

2.14

30.9

0.875

10.0

0.283

—

M1.5

1240

35.0

265

7.50

106

3.0

35.3

1.00

—

3500

99.1

757

21.4

309

8.75

100

2.83

—

M2.5

12400

350

2650

75.0

1060

30.0

353

10.0

—

35000

991

7570

214

3090

87.5

1000

28.3

—

M3.5

100

—

26500

750

10600

300

3530

100

—

75700

2140

30900

875

10000

283

—

M4.5

1000

—

35300

1000

247

7.00

—

100000

2830

618

17.5

M5.5

10000

—

353000

10000

2470

70.0

—

1000000

28300

6180

175

M6.5

100000

—

3530000

100000

24700

700

—

283000

61800

1750

空气洁净度等级【1】（N）

大于或等于表中粒径的最大浓度限值（pc/m3）

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

1μm

5μm

—

100

—

1000

237

102

—

4(十级）

10000

2370

1020

352

—

5(百级）

100000

23700

10200

3520

832

6(千级）

1000000

237000

102000

35200

8320

293

7(万级）

—

352000

83200

2930

8(十万级）

—

3520000

832000

29300

9(一百万级）

—

—8320000

293000

洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级参考（国内通用版）

中间等级的最大浓度限值可近似地用下式计算。

粒子数/m3=10M（）2.2（1）

式中：

M——空气洁净度等级。0.1为最小允许递增量（保留小数点后一位，其余尾数舍去）。

D——被控粒径（μm）

如采用英制单位时，最大浓度限值可近似地用下式计算。

粒子数/ft3=NC（）2.2（2）

式中：

NC——英制单位的空气洁净度等级。

空气洁净度等级（Tso/TC209标准）表—2

空气洁净

度等级

（N）

大于或等于表中粒径的最大浓度限值（PC/m3）

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

1μm

5μm

100

1000

237

102

10000

2370

1020

352

100000

23700

10200

3520

832

1000000

237000

102000

35200

8320

293

352000

83200

2930

3520000

832000

29300

98320000

293000

Cn=10N×（）2.08（3）

式中：

Cn——大于及等于被控粒径的粒子最大允许浓度（个/m3）。Cn有效位数不超过三位数。

N——空气洁净度等级，0.1为最小允许递增量。

空气洁净度等级的表示方法

空气洁净度等级的表示方法有几种：

第一种：

100级、1000级、10000级、100000级这种表示方法至今仍在某些

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