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本发明涉及一种气浮嵌入式X、Y轴工作台及控制方法，包括U形基座、井字框架和X轴工件台，井字框架设置在U形基座内；X轴工件台设置在井字框架内；井字框架包括：X轴支撑梁和Y轴支撑梁；Y轴支撑梁侧面与底面设置有气浮轴承，X轴支撑梁两端设置在Y轴支撑梁上；X轴工作台通过X轴直线电机与X轴支撑梁侧壁定位导向；井字框架两侧边沿水平方向设置有气浮轴承；X轴工件台底面设置有气浮轴承。本发明气浮嵌入式X、Y轴工作台，重量轻、质心低，降低末端偏摆倾角误差，X、Y两部分嵌合在一起，其运动质心与气浮轴承轴线非常接近，系
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117444919A
(43)申请公布日2024.01.26
(21)申请号202311032936.8
(22)申请日2023.08.16
(71)申请人千凰微纳装备科技（北京）有限公司
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