一种氮化铝陶瓷表面金属化方法.pdfVIP

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2023-11-04 发布于四川
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一种氮化铝陶瓷表面金属化方法.pdf

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本发明属于磁控溅射技术领域，公开了一种氮化铝陶瓷表面金属化方法，该方法包括如下步骤：先对氮化铝陶瓷基板进行清洗，然后对清洗后的氮化铝陶瓷基板进行热处理，利用ALD技术在氮化铝陶瓷基板上沉积AlN籽晶层，再利用磁控溅射技术在AlN籽晶层上依次沉积金属过渡层和金属层，最后对沉积的金属层进行退火处理。该方法通过结合清洗、热处理、ALD技术、磁控溅射和退火等多个步骤，实现了对氮化铝陶瓷表面的金属化处理；解决了传统的直接利用磁控溅射在氮化铝陶瓷基底上沉积金属层过程中，金属层和陶瓷基底之间有空隙、结合力弱、

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116986926 A (43)申请公布日 2023.11.03 (21)申请号 202311242685.6 C23C 16/02 (2006.01)