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本发明公布了一种应用于气相沉积的气体清洗设备，包括安装罩、电机、中转箱、清洗装置和雾化供液装置，清洗装置包括空心管和清洗罩，清洗罩内固接有端面板，端面板的中心固接有喷嘴，端面板的外壁还固接有清洗海绵刷，雾化供液装置包括储液箱和鼓风机，本发明的有益效果是，通过雾化供液装置向清洗装置输送气体和清洗液的混合物，通过电机的工作驱动清洗装置自转和公转，通过清洗装置对沉积箱的侧壁进行刷洗，清洗液为弱碱溶液，通过清洗液与酸性沉淀物的反应，使得沉淀物松动，配合清洗装置的刷洗，可以将沉淀物高效彻底的清理，本装置操
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116833180 A (43)申请公布日 2023.10.03 (21)申请号 202210295504.5 (22)申请日 2022.03.23 (71)申请人 广东鸿浩半导体设备有限公司 地址
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