易调整式弱耦合微压力传感器及闭环控制和温度补偿方法.pdfVIP

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2023-10-04 发布于四川
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易调整式弱耦合微压力传感器及闭环控制和温度补偿方法.pdf

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本发明提出一种易调整式弱耦合微压力传感器及闭环控制和温度补偿方法，以满足应用于宽温区微压力测量的需求。本发明的结构非常容易调整，在确保差分敏感的基础上实现弱耦合谐振器的耦合刚度调整。本发明采用基于恒幅激励的方案，为进一步提升闭环控制的稳定性加入了鉴相器环节，并将未受交流激励的谐振器的振幅信号作为鉴相器的参考信号，以此将耦合谐振器的模态锁定在工作模态。本发明将两个谐振器的位移之和用于环境温度的表征，从而对传感器温度特性偿，实现传感器输出与温度的解耦。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116839763 A (43)申请公布日 2023.10.03 (21)申请号 202310817530.4 (22)申请日 2023.07.05 (71)申请人中国科学院空天信息创新研究院地址