一种晶态二氧化硅制备多晶硅的方法及系统.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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一种晶态二氧化硅制备多晶硅的方法及系统.pdf

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为克服现有多晶硅的生产工艺存在初始原料引入杂质，导致的多晶硅纯度难以控制的问题，本发明提供了一种晶态二氧化硅制备多晶硅的方法，包括以下操作步骤：获取晶态二氧化硅，将晶态二氧化硅置于高能粒子辐照下，使晶态二氧化硅转化为无定形二氧化硅；将无定形二氧化硅与还原性碳、氯气反应得到四氯化硅；将四氯化硅和氢气在高温下反应生成多晶硅。同时，本发明还公开了一种晶态二氧化硅制备多晶硅的系统。本发明提供的晶态二氧化硅制备多晶硅的方法及系统采用高能粒子辐照的晶态二氧化硅作为初始原料，既保证了初始原料高纯度和低杂质含量

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113387359 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110668864.0 (22)申请日 2021.06.16 (71)申请人何良雨地址 518