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本发明公开了一种坩埚清洗机构，包括具有空心腔体且前端具有抽气孔的抽气管道(4)、安装于所述抽气管道(4)前端抽气孔处且能够进入待清洗坩埚(1)内的毛刷(2)、与所述抽气管道(4)的后端连通的负压装置，所述抽气孔与空心腔体连通，所述抽气管道(4)和毛刷(2)能够做圆周运动或前后运动。本发明所提供的坩埚清洗机构为复合机构，毛刷和负压装置结合起来，组合运动，动作简洁，结构简单，功能较多，一机多用；毛刷不仅能把待清洗坩埚清洗干净，同时清洗效率提高，效率更优；还能吸附毛刷及待清洗坩埚内部的残留物，避免了对
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113385501 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110864558.4 (22)申请日 2021.07.29 (71)申请人 长沙开元仪器有限公司
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