排气装置及半导体加工设备.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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排气装置及半导体加工设备.pdf

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本发明提供一种排气装置及半导体加工设备，包括用于将半导体加工设备的工艺腔室中的废气排出的主排气管路和设置在主排气管路上的主通断阀，其还包括分级过压保护组件，分级过压保护组件包括内径不同的至少两条过压排气管路，每条过压排气管路的进气端和出气端均与主排气管路连接，且分别位于主通断阀的上游和下游，并且在每条过压排气管路上设置有辅通断阀。本发明提出的排气装置及半导体加工设备，其能够根据预设压力开启分级过压保护组件，辅助主排气管路进行排气，从而能够使主排气管路内部压力维持在安全的压力范围内。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113113333 A (43)申请公布日 2021.07.13 (21)申请号 202110356380.2 (22)申请日 2021.04.01 (71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司