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提供光子结构,光子结构包含半导体基底、位于半导体基底之上的埋藏氧化物层、位于埋藏氧化物层之上的光耦合区、以及埋入半导体基底中的氧化物结构。光耦合区朝着光耦合区的端点渐缩,此端点位于半导体基底的边缘。在平面图中,光耦合区重叠氧化物结构。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112540426 A (43)申请公布日 2021.03.23 (21)申请号 202010988554.2 (22)申请日 2020.09.18 (30)优先权数据
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