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本公开涉及半导体装置。提供的鳍状场效晶体管装置包括通道区,其包含成分元素与多余原子,且成分元素属于元素周期表的一族,其中多余原子为氮或属于元素周期表的该族,以及通道区中的多余原子浓度介于约1019cm‑3至约1020cm‑3之间。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112531031 A (43)申请公布日 2021.03.19 (21)申请号 2
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