兰姆波谐振器及其制造方法.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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兰姆波谐振器及其制造方法.pdf

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本发明提出了一种兰姆波谐振器，在其中传播兰姆波，包括：衬底；压电层，该压电层层叠在衬底上，兰姆波的传播方向与压电层的第一主面平行；以及叉指电极，该叉指电极具有多个设置在压电层的第一主面上的电极指，多个电极指在压电层的第一主上延伸的方向与兰姆波的传播方向垂直，在压电层的第一主面上，沿着兰姆波的传播方向，每间隔2个电极指开设与电极指平行地延伸的槽，槽沿兰姆波的传播方向的宽度与将槽夹在中间的2个电极指之间的间距相同，且槽在压电层的厚度方向上的深度与压电层的厚度之比在0.1至0.3的范围内。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112260656 A (43)申请公布日 2021.01.22 (21)申请号 202011117782.9 (22)申请日 2020.10.19 (71)申请人广东广纳芯科技有限公司