一种X射线波带片的封装方法及系统.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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一种X射线波带片的封装方法及系统.pdf

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本发明涉及一种X射线波带片的封装方法及系统。封装方法包括：获取待封装的X射线波带片的高度；根据所述高度对镀有X射线波带片的多层膜结构的细丝进行切割和抛光；采用微操作臂将切割和抛光后的波带片移动到氮化硅薄膜窗口上；利用FEB/FIB沉积技术将所述切割和抛光后的波带片固定在所述氮化硅薄膜窗口上。本发明使封装后波带片紧贴并牢固固定在氮化硅薄膜上，可以确保成像过程中波带片与入射X射线的垂直性，有利于提高X射线成像的质量。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112271011 A (43)申请公布日 2021.01.26 (21)申请号 202011146882.4 (22)申请日 2020.10.23 (71)申请人山东科技大学地址