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本公开提出一种转运装置及吹扫系统，转运装置被配置为承载并移动晶舟中的晶圆，晶舟包括底板、顶板及连接于底板与顶板之间的多根支柱。其中，转运装置包括本体以及吹气通道。吹气通道开设于本体内部，并具有开设于本体表面的进气口和多个出气口，进气口被配置为与一气源机构相连通。其中，本体移至晶舟内时，每个出气口对应于多根支柱的其中之一，且每根支柱对应有至少一个出气口。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112185880 A (43)申请公布日 2021.01.05 (21)申请号 20191
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