双线单线切割硅棒的方法、切割设备及切割系统.pdfVIP

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2023-05-16 发布于四川
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双线单线切割硅棒的方法、切割设备及切割系统.pdf

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本申请实施例提供一种双线单线切割硅棒的方法、切割设备及切割系统，其中，方法包括：沿着硅棒的长度方向通过两条平行的切割线对硅棒进行一次切割，两条切割线分别位于硅棒中心线的两侧，切割后形成两个平行的第一侧面；对形成有第一侧面的硅棒进行三次切割，每次均通过一条切割线进行切割；其中两次切割形成的切割面均与第一侧面垂直相交，且分别位于硅棒中心线的两侧，另外一次切割形成的切割面与第一侧面平行或垂直且该切割面与硅棒中心线之间的距离均小于其他切割面与硅棒中心线之间的距离；得到两个横截面为矩形的小硅棒。本申请实施

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114750316 A (43)申请公布日 2022.07.15 (21)申请号 202210421528.0 (22)申请日 2022.04.21 (71)申请人青岛高测科技股份有限公司地址 2