一种硅压阻式压力传感器补偿测试系统及测试方法.pdfVIP

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2023-05-15 发布于北京
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本发明属压力传感器测控系统领域，提供了一种硅压阻式压力传感器补偿测试系统及测试方法，其中包括测控主机、可编程矩阵开关、高精度万用表、压力控制器、压力传感器密封卡具、气源、待补偿测试硅压阻式压力传感器、四线制测试导线；本发明采用四线制测试导线，通过搭配可编程矩阵开关闭合动作，实现了硅压阻式压力传感器桥臂电阻的四线制导线测量，做到了四线制导线补偿测试的方法；本发明解决了压力传感器在批量生产测试过程中，补偿测试与验证测试转换时频繁更换测试导线的问题，减少了压力传感器测试系统兼容性和总体设计上的难度，大

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114705359 A (43)申请公布日 2022.07.05 (21)申请号 202210437959.6 (22)申请日 2022.04.25 (71)申请人国机传感科技有限公司地址 110