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本发明提供一种集成式半导体制冷散热封装结构的设计方法,属于半导体封装技术领域,该设计方法同时考虑到制冷器件、图像传感器和封装结构三者的相互影响,以制冷性、气密性、可靠性、散热性为设计宗旨,将三者在同一平台上进行设计;制冷器件采用半导体制冷器,结合芯片尺寸和制冷工况完成半导体制冷器的选型;图像传感器的信号输出结构设计;集成式壳体及散热器设计,由半导体制冷器尺寸、信号输出结构、光学镜头与图像传感器距离、真空接口、集成式散热器决定;光窗尺寸及材料设计;密封工艺设计;真空处理形成真空封装结构。该设计结构
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114203743 A
(43)申请公布日 2022.03.18
(21)申请号 202111510805.7
(22)申请日 2021.12.10
(71)申请人 山东
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