一种晶圆夹持手臂.pdfVIP

下载本文档

10
0
约8.19千字
约 10页
2023-02-16 发布于四川
举报
版权申诉

一种晶圆夹持手臂.pdf

1、本文档共10页，其中可免费阅读5页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种晶圆夹持手臂，包括装置外壳，所述装置外壳的外表面对称安装有两个夹持气缸，两个所述夹持气缸的输出端均设置有活动板，所述活动板的内部连接有导向杆，所述活动板的下表面固定有夹持板，所述夹持板的一侧设置有三个限位块，所述夹持板的内部设置有防护胶垫，所述防护胶垫的内部设置有夹持槽，所述夹持板的末端设置有缓冲垫片，所述缓冲垫片的内部安装有压力传感器。本实用新型通过夹持板上设置的防护胶垫，在夹持槽的配合下，能够对晶圆进行防护限位，可有效的降低发生脱落的情况，且通过缓冲垫

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218482218 U (45)授权公告日 2023.02.14 (21)申请号 202222821043.9 (22)申请日 2022.10.25 (73)专利权人江苏弘琪工业自动化有限公司地址