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2022年富创精密研究报告 专注半导体设备零部件_技术领先 1.富创精密：国产半导体设备零部件平台型龙头 1.1.专注半导体设备零部件，技术领先 专注半导体设备零部件，产品覆盖四大品类。公司是国内半导体设备精密零部件的领军企 业，也是全球为数不多的能够量产应用于 7 纳米工艺制程半导体设备的精密零部件制造商。 公司专注于金属材料零部件精密制造技术，掌握了可满足严苛标准的精密机械制造、表面 处理特种工艺、焊接、组装、检测等多种制造工艺，产品包括工艺零部件、结构零部件、 模组产品和气体管路四大类，应用于半导体设备、泛半导体设备等领域。 公司发展迅速，进入多个全球半导体设备龙头厂商供应链体系。公司一共经历了三个发展 阶段：1）公司设立至 2014:工艺积累和技术攻关阶段，实现国产化自主可控。自研产品多 为 90 纳米以上制程半导体设备的工艺零部件和不直接参与晶圆反应过程的外围结构零部 件。2）2014 至 2018:快速发展阶段，部分技术达到主流国际客户标准，半导体设备精密 零部件的焊接及表面处理特种工艺技术达到主流国际客户标准。在此期间，公司成为客户 A 的战略供应商，东京电子、VAT 等国际知名企业的供应商，并为北方华创、中科信装备、 拓荆科技等国内知名半导体设备企业提供精密零部件的研发及量产配套服务。3）2018 年 至今:高速发展阶段，持续扩大产能，公司进入 HITACHI High-Tech、ASMI 等多个全球半 导体设备龙头厂商供应链体系。公司部分高端产品已应用于 7 纳米制程的半导体设备。 1.2.产品矩阵完善，覆盖四大品类，平台型布局 产品覆盖四大品类，性能达到主流客户标准。公司的产品为半导体设备、泛半导体设备及 其他领域的精密零部件，具体包括工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路。公司 产品的高精密、高洁净、高耐腐蚀、耐击穿电压等性能达到主流国际客户标准。公司已进入客户 A、东京电子、HITACHI High-Tech 和 ASML 等全球半导体设备龙头厂商供应链体 系，并且是客户 A 的全球战略供应商。同时，基于半导体设备国产化趋势，公司积极开拓 境内市场，产品已进入包括北方华创、屹唐股份、中微公司、拓荆科技、华海清科、芯源 微、中科信装备、凯世通等主流国产半导体设备厂商，保障了我国半导体产业供应链安全。 工艺零部件主要是半导体设备中晶圆制备工艺的关键零部件。该类产品一般需要经过高精密机械 制造和复杂的表面处反应腔内衬理特种工艺过程，具备高精密、高洁净、超强耐腐蚀能力、耐击 穿电压等特点。工艺零部件主要应用于刻蚀设备、薄膜沉积设备，也少量应用于离子注入设备和高温扩散设备等。公司代表性工艺零部件包括腔体(按使用功能分为过渡腔、传输腔和反应腔)、 内衬和匀气盘。 结构零部件应用于半导体设备、面板及光伏等泛半导体设备和其他领域中。一般起连接、支撑和 冷却等作用，对平面度和平行度有较高的要求，部分结构零部件同样需要具备高洁净、强耐腐蚀 能力和耐击穿电压等性能。公司的结构零部件种类繁多。工艺零部件、结构零部件等自制零部件与外购的电子标准件和机械标准件等经过组装、测 试等环节，可以制成具有特定功能的模组产品，主要应用于半导体设备。 气体管路产品主要应用于半导体设备中的特殊工艺气体传送，是连接气源到反应腔的传输 管道。由于晶圆加工过程中的气体具有纯度高、腐蚀性强、易燃易爆及毒性的特点，因此 对管路的密封性、洁净度及耐腐蚀能力有较高要求。此外，一旦发生气体污染，半导体设 备厂商较难排查。因此，对零部件制造商的过程管控能力及体系认证要求极高。为满足客 户严苛的标准，公司需要在洁净间环境内，利用超洁净管路焊接技术及清洗技术并结合专 属生产设备及自制工装来保证气体管路无漏点且管路内焊缝无氧化和缺陷，以保证气体在 传输过程中的洁净度且不发生泄漏。 1.3.业务结构：结构零部件收入占比最高，四大类产品均高速增长 随着行业景气度持续高涨和国产半导体设备厂商崛起，公司不断投入研发，持续扩大产能， 2019-2021 年工艺零部件、结构零部件、模组产品、气体管路销售收入复合增长率分别为 63.63%、72.51%、65.66%和 397.08%，均呈现高速增长趋势，产品收入结构逐步完善。 从业务结构看，技术要求最高的工艺零部件主营业务收入占比较低，原因是工艺零部件工艺制程更复杂、技术要求更高、客户验证周期更长，客户选择或替代其他供应商更为谨慎，工艺零部件收入呈现渐进式增长;结构零部件工艺制程相对简单，技术要求低于工艺零部件， 且公司与客户的合作往往从结构零部件开始，不断向性能更高的工艺零部件延伸，从而结构零部件放量更快。其次，相对于工艺和结构零部件，模组产品和气体管路属于公司新开拓产品品类，公司选择的产品型号标准化程度较高，一旦通过验证容